簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Sheam-Chyun Lin".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="爐管"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    直立式爐管之晶圓裝載區域的流場模擬分析
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 李淙賢 指導教授: 林顯群
    • 本文以半導體製程設備中之微環境為主要研究方向,深入探討晶 圓廠中主要生產設備--直立式爐管之晶舟與晶圓裝載區域,著重於裝 載區域內部流場與污染粒子分佈的探討,期望能在設計無塵室之微環 境時,藉助電腦…
    • 點閱:144下載:1
    • 全文公開日期 2015/08/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
    1